በገቢያ ፍላጎት መጨመር ፣ ተጨማሪ እና ተጨማሪ ዓይነቶች የመተጣጠፍ ዒላማዎች በየጊዜው ይሻሻላሉ። አንዳንዶቹ የተለመዱ እና አንዳንዶቹ ለደንበኞች የማይታወቁ ናቸው. አሁን፣ የማግኔትሮን የሚረጭ ዒላማዎች ምን ምን እንደሆኑ ልናካፍልዎ እንፈልጋለን።
የስፕትተር ዒላማ የሚከተሉትን ዓይነቶች አሉት፡- ብረት የሚረጭ ሽፋን ኢላማ፣ alloy sputtering cover target, ceramic sputtering coating target, boride ceramic sputtering target, carbide ceramic sputtering ዒላማ, ፍሎራይድ የሴራሚክ sputtering ዒላማ, nitride ሴራሚክስ sputtering ዒላማ, ኦክሳይድ የሴራሚክስ ዒላማ, ሴሊኒየም sputtering ሴራሚክ ሲሊሳይድ ሴራሚክ የሚረጭ ዒላማ፣ የሰልፋይድ ሴራሚክ ስፑተርን ኢላማ፣ የቴሉራይድ ሴራሚክ ስፑተርን ኢላማ፣ ሌሎች የሴራሚክ ኢላማዎች፣ Chromium doped ሲሊከን ኦክሳይድ ሴራሚክ ኢላማ (ሲአር ሲኦ)፣ ኢንዲየም ፎስፋይድ ኢላማ (INP)፣ የሊድ አርሴንዲድ ኢላማ (pbas)፣ ኢንዲየም አርሴናይድ ኢላማ (InAs)።
የማግኔትሮን ስፒትተር በአጠቃላይ በሁለት ይከፈላል፡ የዲሲ ስፒተር እና የ RF sputtering። የዲሲ መትከያ መሳሪያዎች መርህ ቀላል ነው, እና ብረትን በሚረጭበት ጊዜ ፍጥነቱም ፈጣን ነው. RF sputtering በስፋት ጥቅም ላይ ይውላል. ኮንዳክቲቭ ዳታ ከማስፈንጠዝ በተጨማሪ አመንጪ ያልሆኑ መረጃዎችን መበተን ይችላል። በተመሳሳይ ጊዜ፣ የሚተፋው ኢላማ እንደ ኦክሳይድ፣ ናይትራይድ እና ካርቦይድ ያሉ ውህድ መረጃዎችን ለማዘጋጀት ምላሽ ሰጪ መትፋትን ያከናውናል። የ RF ድግግሞሽ ከጨመረ, ማይክሮዌቭ ፕላዝማ መትፋት ይሆናል. በአሁኑ ጊዜ ኤሌክትሮን ሳይክሎሮን ሬዞናንስ (ኢ.ሲ.አር.) ማይክሮዌቭ ፕላዝማ መትፋት በብዛት ጥቅም ላይ ይውላል።
የልጥፍ ሰዓት፡- ግንቦት-18-2022