ለአሎይ ዒላማዎች ቅድመ ጥንቃቄዎች

1, የትንፋሽ ዝግጅት

የቫኪዩም ክፍሉን በተለይም የስፕቲንግ ሲስተም ንፁህ ማድረግ በጣም አስፈላጊ ነው. በዘይት ፣ በአቧራ እና በቀድሞው ሽፋን የሚፈጠረው ማንኛውም ቅሪት የውሃ ትነት እና ሌሎች በካይ ንጥረ ነገሮችን ይሰበስባል ፣ ይህም የቫኩም ዲግሪውን በቀጥታ ይነካዋል እና የፊልም መፈጠር ውድቀትን ይጨምራል። የአጭር ዙር ወይም የዒላማ ቅስት፣ ሸካራማ የፊልም ወለል እና ከልክ ያለፈ የኬሚካል ርኩሰት ይዘት ብዙውን ጊዜ የሚከሰቱት ንፁህ ያልሆነ የሚተነፍሰው ክፍል፣ የሚረጭ ጠመንጃ እና ዒላማ ነው። የሽፋኑን የአጻጻፍ ባህሪያት ለማክበር, የሚረጭ ጋዝ (አርጎን ወይም ኦክሲጅን) ማጽዳት እና ማድረቅ አስፈላጊ ነው. ንጣፉ በተፋፋመበት ክፍል ውስጥ ከተጫነ በኋላ በሂደቱ ውስጥ ወደ ሚፈለገው ክፍተት ለመድረስ አየሩን ማውጣት ያስፈልጋል. በጨለማው ቦታ ላይ ያለው መከላከያ ሽፋን, የጉድጓድ ግድግዳ እና በአቅራቢያው ያለው ገጽ እንዲሁ ንጹህ መሆን አለበት. የቫኩም ክፍልን ስናጸዳ አቧራማ የሆኑትን ክፍሎች ለማከም የመስታወት ኳስ ሾት ፍንዳታ በመጠቀም ፣ከታመቀ አየር ጋር በመሆን በክፍሉ ዙሪያ ያሉትን ቀደምት የሚረጩ ቀሪዎችን እናስወግዳለን እና ከዚያም በፀጥታ የውጭውን ገጽ በአሉሚኒየም በተሸፈነ የአሸዋ ወረቀት እናጸዳለን። የጋዝ ወረቀቱን ካጸዳ በኋላ በአልኮል, በአሴቶን እና በዲዮኒዝድ ውሃ ይጸዳል. አንድ ላይ ሆኖ ለረዳት ጽዳት የኢንደስትሪ ቫኩም ማጽጃ መጠቀምን ይደግፋል። በጋኦዛን ብረት የተሰሩት ኢላማዎች በቫኩም በታሸጉ የፕላስቲክ ከረጢቶች ውስጥ የታሸጉ ናቸው።

እርጥበት-ተከላካይ ወኪል ውስጥ የተገነባ. ዒላማውን ሲጠቀሙ፣ እባኮትን በቀጥታ በእጅዎ አይንኩ። ማሳሰቢያ፡ ዒላማውን ሲጠቀሙ፣ እባክዎን ከንፁህ እና ከንክኪ ነጻ የጥገና ጓንቶችን ያድርጉ። ዒላማውን በእጆችዎ በቀጥታ አይንኩ

2, ዒላማ ማጽዳት

የዒላማ ማጽዳት ዓላማ በዒላማው ላይ ሊኖር የሚችለውን አቧራ ወይም ቆሻሻ ማስወገድ ነው.

የብረት ዒላማው በአራት ደረጃዎች ሊጸዳ ይችላል.

የመጀመሪያው እርምጃ አሴቶን ውስጥ የራሰውን lint ነጻ ለስላሳ ጨርቅ ጋር ማጽዳት ነው;

ሁለተኛው እርምጃ ከመጀመሪያው ደረጃ ጋር ተመሳሳይ ነው, በአልኮል ማጽዳት;

ደረጃ 3: በተቀላቀለ ውሃ አጽዳ. ከተጣራ ውሃ ጋር ከታጠበ በኋላ ኢላማውን በምድጃ ውስጥ ያስቀምጡት እና በ 100 ℃ ለ 30 ደቂቃዎች ያደርቁት.

የኦክሳይድ እና የሴራሚክ ዒላማዎችን ማጽዳት በ "ሊንት ነፃ ጨርቅ" መከናወን አለበት.

አራተኛው እርምጃ አቧራማውን ቦታ ካስወገዱ በኋላ ዒላማውን በአርጎን በከፍተኛ ግፊት እና በዝቅተኛ የውሃ ጋዝ ማጠብ ነው ፣ ስለሆነም በመርጨት ስርዓት ውስጥ ቅስት ሊፈጥሩ የሚችሉትን ሁሉንም ርኩስ ቅንጣቶች ለማስወገድ ።

3. የዒላማ መሣሪያ

በዒላማው የመትከል ሂደት ውስጥ, የ Z አስፈላጊ ጥንቃቄዎች በዒላማው እና በተተፋው ጠመንጃ ማቀዝቀዣ ግድግዳ መካከል ጥሩ የሙቀት ማስተላለፊያ ግንኙነትን ማረጋገጥ ነው. የማቀዝቀዣው ዘንግ ጦርነቱ ከባድ ከሆነ ወይም የኋለኛው ጠፍጣፋው ጦርነት በጣም ከባድ ከሆነ የታለመው መሳሪያ ይሰነጠቃል ወይም ይጣመማል እና ከኋላ ኢላማው ያለው የሙቀት መቆጣጠሪያ በከፍተኛ ሁኔታ ይጎዳል ፣ በዚህም ምክንያት የሙቀት መበታተን አለመሳካት ያስከትላል። በመርጨት ሂደት ውስጥ, እና ዒላማው ይሰነጠቃል ወይም ይጎድላል

የሙቀት መቆጣጠሪያውን ለማረጋገጥ, በካቶድ ማቀዝቀዣ ግድግዳ እና በዒላማው መካከል የግራፍ ወረቀት ንጣፍ ሊለብስ ይችላል. እባኮትን በጥንቃቄ ለመፈተሽ ትኩረት ይስጡ እና የ O-ring ሁልጊዜ በቦታው መኖሩን ለማረጋገጥ ጥቅም ላይ የሚውለውን የሚተፋው ጠመንጃ የማቀዝቀዣ ግድግዳ ጠፍጣፋነት ግልጽ ያድርጉ.

ጥቅም ላይ የሚውለው የማቀዝቀዣ ውሃ ንፅህና እና መሳሪያው በሚሰራበት ጊዜ ሊከሰት የሚችለው ብናኝ በካቶድ ማቀዝቀዣ የውሃ ማጠራቀሚያ ውስጥ ስለሚከማች ለስላሳውን ለማጣራት ዒላማውን በሚጭኑበት ጊዜ የካቶድ ማቀዝቀዣ የውኃ ማጠራቀሚያውን ማረጋገጥ እና ማጽዳት አስፈላጊ ነው. የቀዘቀዘ ውሃ ዝውውር እና መግቢያው እና መውጫው እንደማይታገድ.

አንዳንድ ካቶዶች ከአኖድ ጋር ትንሽ ቦታ እንዲኖራቸው ታቅደዋል, ስለዚህ ዒላማውን ሲጭኑ, በካቶድ እና በአኖድ መካከል ምንም ንክኪ ወይም መቆጣጠሪያ አለመኖሩን ማረጋገጥ ያስፈልጋል, አለበለዚያ አጭር ዙር ይከሰታል.

ዒላማውን በትክክል እንዴት ማከናወን እንደሚቻል ላይ መረጃ ለማግኘት የመሳሪያውን ኦፕሬተር መመሪያ ይመልከቱ። በተጠቃሚው መመሪያ ውስጥ እንደዚህ ያለ መረጃ ከሌለ, እባክዎን መሳሪያውን በ Gaozhan metal በሚሰጡት አግባብነት ያላቸው ጥቆማዎች መሰረት ለመጫን ይሞክሩ. የታለመውን መሳሪያ ሲያጠናክሩ መጀመሪያ አንዱን መቀርቀሪያ በእጅ ያጥቡት እና ከዚያ ሌላ መቀርቀሪያ በዲያግኖል ላይ በእጅ ያጠጉ። በመሳሪያው ላይ ያሉት ሁሉም መቀርቀሪያዎች እስኪጣበቁ ድረስ ይህን ይድገሙት እና ከዚያ በሆነ ነገር ያጥብቁ.

4, አጭር ዙር እና ጥብቅ ቁጥጥር

የታለመው መሳሪያ ከተጠናቀቀ በኋላ የጠቅላላውን ካቶድ አጭር ዙር እና ጥብቅነት ማረጋገጥ ያስፈልጋል.

የመከላከያ መለኪያ በመጠቀም በካቶድ ውስጥ አጭር ዙር መኖሩን ለመወሰን ይመከራል

የረድፍ አድልዎ። በካቶድ ውስጥ አጭር ዙር አለመኖሩን ካረጋገጡ በኋላ, የውሃ ፍሳሽ መኖሩን ማረጋገጥ ይቻላል, እና ውሃ ወደ ካቶድ ውስጥ ማስገባት ይቻላል.

5, ዒላማ ቅድመ sputtering

ዒላማ ቅድመ sputtering ንጹሕ አርጎን sputtering, ይህም ዒላማ ላይ ላዩን ማጽዳት ይችላሉ. ዒላማው አስቀድሞ በሚረጭበት ጊዜ ቀስ በቀስ የመፍቻውን ኃይል ለመጨመር ይመከራል እና የሴራሚክ ኢላማው የኃይል መጨመር መጠን 1.5WH / ሴሜ 2 ነው. የብረት ዒላማው የቅድመ መትረፊያ ፍጥነት ከሴራሚክ ዒላማ ማገጃ የበለጠ ሊሆን ይችላል ፣ እና ምክንያታዊ የኃይል ጭማሪ መጠን 1.5WH / ሴሜ 2 ነው።

በቅድመ-ስፒተር ሂደት ውስጥ የዒላማውን ቅስት ማረጋገጥ አለብን. የቅድመ ወለላ ጊዜ በአጠቃላይ 10 ደቂቃ ያህል ነው. ምንም የአርኪንግ ክስተት ከሌለ, የመትፋት ኃይልን ያለማቋረጥ ይጨምሩ

ወደ ተዘጋጀው ኃይል. በተሞክሮ መሰረት፣ ተቀባይነት ያለው የዚ ከፍተኛ የብረታ ብረት ኢላማ የመፍቻ ሃይል ነው።

ለሴራሚክ ዒላማ 25ዋት / ሴሜ 2፣ 10ዋት/ሴሜ 2። እባክዎን በተጠቃሚው የስርዓት ኦፕሬሽን መመሪያ ውስጥ በሚተፋበት ጊዜ የቫኩም ክፍል ግፊትን አቀማመጥ እና ልምድ ይመልከቱ። በአጠቃላይ ከውሃ በሚወጣበት ጊዜ ያለው የውሀ ሙቀት ከ 35 ℃ በታች መሆን እንዳለበት መረጋገጥ አለበት, ነገር ግን ዜድ የውሃ ማቀዝቀዣ ስርዓት ውጤታማ በሆነ መንገድ እንዲሠራ ማድረግ አስፈላጊ ነው.

የሱፐር ቀዝቃዛ ውሃ ፈጣን ዝውውር ሙቀትን ያስወግዳል, ይህም በከፍተኛ ኃይል ቀጣይነት ያለው መትፋትን ለማረጋገጥ አስፈላጊ ዋስትና ነው. ለብረት ዒላማዎች, በአጠቃላይ የሚቀዘቅዘው የውሃ ፍሰት መሆኑን ይበረታታል

20lpm የውሃ ግፊት 5gmp ያህል ነው; ለሴራሚክ ዒላማዎች በአጠቃላይ የውሃ ፍሰቱ 30lpm እና የውሃ ግፊቱ 9ጂኤምፒ ያህል እንደሆነ ይበረታታል።

6. የዒላማ ጥገና

በእርጥበት ሂደት ውስጥ ንፁህ ባልሆነ ክፍተት ምክንያት የሚፈጠረውን አጭር ወረዳ እና ቅስት ለመከላከል በማዕከሉ ውስጥ የተከማቸውን እና በሁለቱም በኩል በደረጃዎች ውስጥ የተከማቸበትን ዱካ ማስወገድ አስፈላጊ ነው ።

ይህ እንዲሁም ተጠቃሚዎች በz ከፍተኛ የሃይል ጥግግት ያለማቋረጥ እንዲተፉ ይረዳቸዋል።

7. የዒላማ ማከማቻ

በጋኦዛን ብረት የሚሰጡት ኢላማዎች በድርብ-ንብርብር የቫኩም ፕላስቲክ ከረጢቶች ውስጥ የታሸጉ ናቸው። ተጠቃሚዎች ኢላማዎችን ብረት ወይም ሴራሚክን በቫኩም እሽግ ውስጥ እንዲያቆዩ እንመክራለን። በተለይም የማጣመጃው ንብርብሩን ኦክሲዴሽን በማያያዝ ጥራት ላይ ተጽእኖ እንዳያሳድር የማጣቀሚያ ኢላማዎች በቫኩም ሁኔታዎች ውስጥ ማከማቸት አለባቸው. የብረት ዒላማዎችን ማሸግ በተመለከተ፣ ዜድ በንፁህ የፕላስቲክ ከረጢቶች ውስጥ መታሸግ እንዳለበት እናሳስባለን።