የቫኩም ሽፋን መርህ

ቫክዩም ሽፋን ማለት የትነት ምንጭን በቫኩም ውስጥ ማሞቅ እና ማትነን ወይም በተፋጠነ ion bombardment በመርጨት እና በንጣፉ ላይ በማስቀመጥ ባለ አንድ ንብርብር ወይም ባለ ብዙ ሽፋን ፊልም ነው። የቫኩም ሽፋን መርህ ምንድን ነው? በመቀጠል የRSM አርታኢ ያስተዋውቀናል።

　　1. የቫኩም ትነት ሽፋን

የትነት ሽፋን በእንፋሎት ሞለኪውሎች ወይም አተሞች መካከል ያለው ርቀት ከእንፋሎት ምንጭ እና ከተሸፈነው ንጣፍ መካከል ያለው ርቀት ከቀሪው የጋዝ ሞለኪውሎች አማካይ ነፃ መንገድ ያነሰ መሆን አለበት ፣ ስለሆነም የእንፋሎት ሞለኪውሎችን ማረጋገጥ ያስፈልጋል ። ትነት ሳይጋጭ ወደ መሬቱ ወለል ሊደርስ ይችላል። ፊልሙ ንጹህ እና ጠንካራ መሆኑን ያረጋግጡ, እና ትነት ኦክሳይድ አይሆንም.

　　2. የቫኩም ስፓይተር ሽፋን

በቫክዩም ውስጥ, የተጣደፉ ionዎች ከጠንካራው ጋር ሲጋጩ, በአንድ በኩል, ክሪስታል ይጎዳል, በሌላ በኩል, ክሪስታልን ከሚፈጥሩት አተሞች ጋር ይጋጫሉ, በመጨረሻም በጠንካራው ወለል ላይ ያሉት አቶሞች ወይም ሞለኪውሎች ይጋጫሉ. ወደ ውጭ ማፍሰስ ። የተረጨው ነገር በንጥረቱ ላይ ተለጥፎ ቀጭን ፊልም ይሠራል, እሱም የቫኩም ስፕትተር ፕላቲንግ ይባላል. ብዙ የማፍሰሻ ዘዴዎች አሉ, ከእነዚህም መካከል ዳይኦድ መትፋት የመጀመሪያው ነው. በተለያዩ የካቶድ ዒላማዎች መሰረት, ወደ ቀጥተኛ ወቅታዊ (ዲሲ) እና ከፍተኛ ድግግሞሽ (RF) ሊከፋፈል ይችላል. የዒላማውን ወለል ከ ion ጋር በመነካካት የሚረጩት የአተሞች ብዛት የስፒተር ፍጥነት ይባላል። በከፍተኛ የፍጥነት መጠን፣ የፊልም አፈጣጠር ፍጥነት ፈጣን ነው። የመርጨት መጠን ከኃይል እና የ ions አይነት እና ከተነጣጠረ ቁሳቁስ አይነት ጋር የተያያዘ ነው. በአጠቃላይ የሰው ion ሃይል ሲጨምር የመርጨት መጠን ይጨምራል እናም የከበሩ ብረቶች የመርጨት መጠን ከፍ ያለ ነው።