የ PVD ማግኔትሮን የሚረጭ የቫኩም ሽፋን ማስታወሻዎች

የ PVD ሙሉ ስም ፊዚካል የእንፋሎት ማስቀመጫ ነው፣ እሱም የእንግሊዘኛ ምህፃረ ቃል (አካላዊ የእንፋሎት ማስቀመጫ) ነው። በአሁኑ ጊዜ ፒቪዲ በዋነኝነት የሚያጠቃልለው የትነት ሽፋን፣ ማግኔትሮን የሚረጭ ሽፋን፣ ባለብዙ አርክ ion ሽፋን፣ የኬሚካል ትነት ማስቀመጫ እና ሌሎች ቅርጾችን ነው። በአጠቃላይ PVD የአረንጓዴ የአካባቢ ጥበቃ ኢንዱስትሪ ነው። ከሌሎች ኢንዱስትሪዎች ጋር ሲነጻጸር, በሰው አካል ላይ ትንሽ ጉዳት አለው, ነገር ግን ያለሱ አይደለም. እርግጥ ነው, ውጤታማ በሆነ መንገድ ሊቀንስ አልፎ ተርፎም ሙሉ በሙሉ ሊወገድ ይችላል. በ PVD ማግኔትሮን ስፒተር ቫክዩም ሽፋን ጥንቃቄዎች ላይ፣ ከ RSM አርታኢ ባገኘው ድርሻ፣ ተገቢውን ሙያዊ እውቀት በትክክል መረዳት እንችላለን።

　　ስለ PVD ማግኔትሮን የሚተፋ የቫኩም ሽፋን የሚከተሉትን ነጥቦች ልብ ይበሉ።

1. ጨረራ፡ አንዳንድ ሽፋኖች የ RF ሃይል አቅርቦትን መጠቀም ያስፈልጋቸዋል። ኃይሉ ከፍ ያለ ከሆነ, መከላከያ ያስፈልገዋል. በተጨማሪም እንደ አውሮፓውያን ደረጃዎች የብረት ሽቦዎች የጨረራ መከላከያን ለመከላከል በነጠላ ክፍል ሽፋን ማሽን በበሩ ፍሬም ዙሪያ ተጭነዋል.

2. የብረታ ብረት ብክለት: አንዳንድ የሽፋን ቁሳቁሶች (እንደ ክሮምሚየም, ኢንዲየም, አሉሚኒየም) ለሰው አካል ጎጂ ናቸው, እና የቫኩም ክፍልን በሚጸዳበት ጊዜ ለአቧራ ብክለት ልዩ ትኩረት መስጠት አለበት;

3. የድምፅ ብክለት: በተለይ ለአንዳንድ ትላልቅ የሽፋን መሳሪያዎች, ሜካኒካል የቫኩም ፓምፕ በጣም ጫጫታ ነው, ስለዚህ ፓምፑ ከግድግዳው ውጭ ሊገለል ይችላል;

4. የብርሃን ብክለት: በአዮን ሽፋን ሂደት ውስጥ, ጋዝ ionizes እና ጠንካራ ብርሃን ያመነጫል, ይህም ለረጅም ጊዜ ምልከታ መስኮት ውስጥ ለማየት ተስማሚ አይደለም;

የ PVD ማግኔትሮን ስፒተር ኮትተር አጠቃላይ የስራ ሙቀት በ0 ~ 500 መካከል ቁጥጥር ይደረግበታል!