የታለመ ቁሳቁስ ዋና ዋና ባህሪዎች

አሁን ከዒላማው ጋር በደንብ መተዋወቅ አለብን፣ አሁን የዒላማው ገበያም እየጨመረ ነው፣ የሚከተለው በ RSM አርታኢ የተጋራው የትርፍ ዒላማ ዋና አፈፃፀም ነው

　　ንጽህና

የታለመው ቁሳቁስ ንፅህና ከዋና ዋና የአፈፃፀም ኢንዴክሶች አንዱ ነው, ምክንያቱም የታለመው ቁሳቁስ ንፅህና በቀጭኑ ፊልም አፈፃፀም ላይ ትልቅ ተጽእኖ ስላለው ነው. ነገር ግን, በተግባራዊ አተገባበር, የታለሙ ቁሳቁሶች የንጽህና መስፈርቶች አንድ አይነት አይደሉም. ለምሳሌ በማይክሮ ኤሌክትሮኒክስ ኢንዱስትሪ ፈጣን እድገት የሲሊኮን ቺፕ መጠን ከ 6 ", 8 "ወደ 12" የተሰራ ሲሆን የሽቦው ስፋት ከ 0.5um ወደ 0.25um,0.18um ወይም እንዲያውም 0.13um. ቀደም ሲል የ 99.995% የታለመ ቁሳቁስ ንፅህና የ 0.35umIC የሂደቱን መስፈርቶች ሊያሟላ ይችላል. የ 0.18um መስመሮችን ለማዘጋጀት የታለመው ቁሳቁስ ንፅህና 99.999% ወይም 99.9999% እንኳን ነው.

　　የንጽሕና ይዘት

በዒላማው ጠንካራ ውስጥ ያሉት ቆሻሻዎች እና በቀዳዳዎቹ ውስጥ ያለው የኦክስጂን እና የውሃ ትነት የፊልም ማስቀመጫ ዋና የብክለት ምንጮች ናቸው። ለተለያዩ ዓላማዎች የታለሙ ቁሳቁሶች ለተለያዩ የንጽሕና ይዘቶች የተለያዩ መስፈርቶች አሏቸው። ለምሳሌ, በሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉ ንጹህ የአሉሚኒየም እና የአሉሚኒየም ቅይጥ ዒላማዎች ለአልካሊ ብረቶች እና ሬዲዮአክቲቭ ንጥረ ነገሮች ይዘት ልዩ መስፈርቶች አሏቸው.

　　እፍጋቱ

በዒላማው ጠንካራ ውስጥ ያለውን porosity ለመቀነስ እና የሚረጭ ፊልም አፈጻጸምን ለማሻሻል, የዒላማው ከፍተኛ ጥግግት ብዙውን ጊዜ ያስፈልጋል. የዒላማው ጥግግት የፍጥነት መጠንን ብቻ ሳይሆን የፊልሙን ኤሌክትሪክ እና ኦፕቲካል ባህሪያት ይነካል. የታለመው ጥግግት ከፍ ባለ መጠን የፊልም አፈጻጸም የተሻለ ይሆናል። በተጨማሪም የዒላማው ጥንካሬ እና ጥንካሬ መጨመር ዒላማው በመርጨት ሂደት ውስጥ ያለውን የሙቀት ጭንቀት በተሻለ ሁኔታ እንዲቋቋም ያደርገዋል. ጥግግት ደግሞ የዒላማ ቁልፍ የአፈጻጸም ኢንዴክሶች አንዱ ነው።

　　የእህል መጠን እና የእህል መጠን ስርጭት

ዒላማው ብዙውን ጊዜ ከማይክሮሜትር እስከ ሚሊሜትር የሚደርስ የእህል መጠን ያለው ፖሊክሪስታሊን ነው። ለተመሳሳይ ዒላማ ከትንሽ እህሎች ጋር የዒላማው የመርከስ መጠን ከትላልቅ እህሎች ጋር ሲነፃፀር ፈጣን ነው. በትንሽ የእህል መጠን ልዩነት (ዩኒፎርም ስርጭት) ኢላማን በመርጨት የተቀመጡት የፊልሞች ውፍረት ስርጭት የበለጠ ተመሳሳይ ነው።