የከፍተኛ ንፅህና የመዳብ ዒላማ ልማት ተስፋ

በአሁኑ ጊዜ በ IC ኢንዱስትሪ የሚፈለጉት ሁሉም ማለት ይቻላል ከፍተኛ-ደረጃ እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ብረታ ብረት ኢላማዎች በበርካታ ትላልቅ የውጭ አገር አቀፍ ኩባንያዎች በሞኖፖል ተይዘዋል። በአገር ውስጥ IC ኢንዱስትሪ ውስጥ የሚፈለጉት ሁሉም የ ultrapure መዳብ ኢላማዎች ወደ ሀገር ውስጥ መግባት አለባቸው ፣ ይህም ውድ ብቻ ሳይሆን ፣ በአስመጪ ሂደቶች ውስጥ የተወሳሰበ ነው ። . እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና (6N) የመዳብ መትረየስ ኢላማዎችን ለማዳበር ቁልፍ ነጥቦችን እና ችግሮችን እንይ።

1,እጅግ በጣም ከፍተኛ የንጽሕና ቁሶች እድገት

በቻይና ውስጥ የከፍተኛ ንፅህና የኩ ፣ አል እና ታ ብረቶች የማጥራት ቴክኖሎጂ ከኢንዱስትሪ ባደጉ ሀገራት በጣም የራቀ ነው። በአሁኑ ጊዜ አብዛኛዎቹ ከፍተኛ-ንፅህና ብረቶች በኢንዱስትሪው ውስጥ በተለመደው የሁሉም ንጥረ ነገሮች ትንተና ዘዴዎች መሠረት ዒላማዎችን ለመርጨት የተቀናጁ ወረዳዎች የጥራት መስፈርቶችን ማሟላት አይችሉም። በዒላማው ውስጥ የተካተቱት ብዛት በጣም ከፍተኛ ነው ወይም ፍትሃዊ ባልሆነ መልኩ የተከፋፈለ ነው። ቅንጣቶች ብዙውን ጊዜ sputtering ወቅት wafer ላይ ተቋቋመ, በቁም ፊልም አፈጻጸም ላይ ተጽዕኖ ይህም አጭር የወረዳ ወይም interconnect አጭር የወረዳ ወይም ክፍት የወረዳ, ምክንያት.

2,የመዳብ መትረፊያ ዒላማ ዝግጅት ቴክኖሎጂ ልማት

የመዳብ ስፓይተርን ዒላማ ዝግጅት ቴክኖሎጂ ልማት በዋናነት በሶስት ገፅታዎች ላይ ያተኩራል-የእህል መጠን, የአቀማመጥ ቁጥጥር እና ተመሳሳይነት. ሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ኢላማዎችን ለመርጨት እና ጥሬ ዕቃዎችን ለማትነን ከፍተኛ መስፈርቶች አሉት። የላይኛውን የእህል መጠን እና የዒላማውን ክሪስታል አቅጣጫ ለመቆጣጠር በጣም ጥብቅ መስፈርቶች አሉት. የዒላማው የእህል መጠን በ 100 መቆጣጠር አለበትμ M ከዚህ በታች, ስለዚህ የእህል መጠንን መቆጣጠር እና የግንኙነት ትንተና እና ማወቂያ ዘዴዎች ለብረት ዒላማዎች እድገት በጣም አስፈላጊ ናቸው.

3,የመተንተን እድገት እናሙከራ ቴክኖሎጂ

የዒላማው ከፍተኛ ንፅህና ማለት ቆሻሻን መቀነስ ማለት ነው. ቀደም ባሉት ጊዜያት ኢንዳክቲቭ የተጣመረ ፕላዝማ (አይሲፒ) እና የአቶሚክ መምጠጥ ስፔክትሮሜትሪ ቆሻሻን ለመለየት ጥቅም ላይ ውለው ነበር ነገርግን ከቅርብ ዓመታት ወዲህ ከፍ ያለ የስሜታዊነት ስሜት ያለው የግሎው ልቀትን ጥራት ትንተና (ጂዲኤምኤስ) ቀስ በቀስ እንደ መደበኛ ጥቅም ላይ ውሏል ዘዴ. የተረፈ የመቋቋም ሬሾ RRR ዘዴ በዋናነት የኤሌክትሪክ ንፅህናን ለመወሰን ጥቅም ላይ ይውላል. የመወሰን መርሆው የኤሌክትሮኒካዊ ቆሻሻዎችን ስርጭት መጠን በመለካት የቤዝ ብረትን ንፅህና መገምገም ነው። በክፍል ሙቀት እና በጣም ዝቅተኛ የሙቀት መጠን መቋቋምን ለመለካት ስለሆነ ቁጥሩን መውሰድ ቀላል ነው. በቅርብ ዓመታት ውስጥ, የብረታ ብረትን ምንነት ለመመርመር, እጅግ በጣም ከፍተኛ ንፅህና ላይ የተደረገው ምርምር በጣም ንቁ ነው. በዚህ ጉዳይ ላይ የ RRR ዋጋ ንፅህናን ለመገምገም ከሁሉ የተሻለው መንገድ ነው.