የሴሚኮንዳክተር ቺፕ ስፕትተር ዒላማ አተገባበር

ለሴሚኮንዳክተር ኢንዱስትሪ ከፍተኛ ንፅህና ያላቸው የአሉሚኒየም ስፒተር ኢላማዎች፣ የመዳብ መትረየስ ዒላማዎች፣ የታንታለም መትረየስ ኢላማዎች፣ ቲታኒየም የሚረጭ ዒላማዎች፣ ወዘተ ማምረት ይችላል።

ሴሚኮንዳክተር ቺፕስ ከፍተኛ ቴክኒካዊ መስፈርቶች እና ከፍተኛ ዋጋ ላላቸው ኢላማዎች ከፍተኛ ዋጋ አላቸው። ለታላሚዎች ንፅህና እና ቴክኖሎጂ የሚያስፈልጉት መስፈርቶች ከጠፍጣፋ ማሳያዎች ፣ ከፀሐይ ህዋሶች እና ከሌሎች መተግበሪያዎች የበለጠ ናቸው። ሴሚኮንዳክተር ቺፖችን በንፅህና እና በውስጣዊ ጥቃቅን ነገሮች ላይ እጅግ በጣም ጥብቅ ደረጃዎችን ያስቀምጣል. የተተፋው ኢላማው የንጽሕና ይዘት በጣም ከፍተኛ ከሆነ, የተሰራው ፊልም አስፈላጊውን የኤሌክትሪክ ባህሪያት ማሟላት አይችልም. በመርጨት ሂደት ውስጥ, በ wafer ላይ ቅንጣቶችን መፍጠር ቀላል ነው, ይህም የአጭር ዙር ወይም የወረዳ ጉዳት ያስከትላል, ይህም የፊልሙን አፈፃፀም በእጅጉ ይጎዳል. በአጠቃላይ ለቺፕ ማምረቻ ከፍተኛው የንፅህና መትፋት ዒላማ ያስፈልጋል፣ ይህም አብዛኛውን ጊዜ 99.9995% (5N5) ወይም ከዚያ በላይ ነው።

የማገጃ ንጣፎችን ለማምረት እና የብረት ሽቦ ንጣፎችን ለማሸግ የስፕትተር ኢላማዎች ያገለግላሉ። በዋፈር ማምረቻ ሂደት ውስጥ ዒላማው በዋናነት የሚሠራው የዋፋውን ማስተላለፊያ ንብርብር፣ ማገጃ ንብርብር እና የብረት ፍርግርግ ለመሥራት ነው። በቺፕ እሽግ ሂደት ውስጥ, የተረጨው ዒላማ ከጉብታዎች በታች የብረት ሽፋኖችን, ሽቦዎችን እና ሌሎች የብረት ቁሳቁሶችን ለማምረት ያገለግላል. ምንም እንኳን በዋፈር ማምረቻ እና ቺፕ ማሸጊያዎች ውስጥ ጥቅም ላይ የሚውሉት የታለሙ ቁሳቁሶች መጠን አነስተኛ ቢሆንም በሴሚአይ ስታቲስቲክስ መሠረት ፣ በዋፈር ማምረቻ እና ማሸግ ሂደት ውስጥ የታቀዱ ቁሳቁሶች ዋጋ 3% ያህል ነው። ይሁን እንጂ, sputtering ዒላማ ጥራት በቀጥታ conductive ንብርብር እና ማገጃ ንብርብር ያለውን ወጥነት እና አፈጻጸም ላይ ተጽዕኖ, በዚህም የማስተላለፊያ ፍጥነት እና ቺፕ መረጋጋት ላይ ተጽዕኖ. ስለዚህ, የመርጨት ዒላማው ሴሚኮንዳክተር ለማምረት ዋና ዋና ቁሳቁሶች አንዱ ነው