1. Magnetron sputtermetode:
Magnetron sputtering kan verdeel word in DC sputtering, medium frekwensie sputtering en RF sputtering
A. GS-sputterkragtoevoer is goedkoop en die digtheid van gedeponeerde film is swak. Oor die algemeen word huishoudelike fototermiese en dunfilmbatterye met lae energie gebruik, en die sputterteiken is 'n geleidende metaalteiken.
B. Die RF-sputterenergie is hoog, en die sputterteiken kan nie-geleidende teiken of geleidende teiken wees.
C. Mediumfrekwensie sputterteiken kan keramiekteiken of metaalteiken wees.
2. Klassifikasie en toepassing van sputterteikens
Daar is baie soorte sputterteikens, en die teikenklassifikasiemetodes verskil ook. Volgens die vorm word hulle in lang teiken, vierkantige teiken en ronde teiken verdeel; Volgens die samestelling, kan dit verdeel word in metaal teiken, legering teiken en keramiek saamgestelde teiken; Volgens verskillende toepassingsvelde kan dit verdeel word in halfgeleierverwante keramiekteikens, opnamemediumkeramiekteikens, vertoonkeramiekteikens, ens. Sputtering-teikens word hoofsaaklik gebruik in elektroniese en inligtingsindustrieë, soos inligtingstoorbedryf. In hierdie bedryf word sputterteikens gebruik om relevante dunfilmprodukte (hardeskyf, magneetkop, optiese skyf, ens.) voor te berei. Op die oomblik. Met die voortdurende ontwikkeling van die inligtingsbedryf neem die vraag na die opname van medium keramiekteikens in die mark toe. Die navorsing en vervaardiging van opnamemediumteikens het die fokus van uitgebreide aandag geword.
Postyd: 11 Mei 2022